相機遮罩平整度量測

驗證安裝程序

首先量測旋轉台的跳動,應先使用異丙醇清潔載物台,這樣可以減少灰塵或污垢造成的測量失準,待其乾燥後,將遮罩安裝在旋轉台上。接下來,我們將量測遮罩的四個端點。在開始量測前,需要先將雷射探頭歸零,再開始進行量測。

- 旋轉台(無遮罩)

- 量測圖表

 

下表是選轉台與兩個相機遮罩的測試數據:

旋轉角度

旋轉台

第一個相機遮罩

第二個相機遮罩

0

-2μm

2μm

-1μm

108

0

0

1μm

180

-1μm

11μm

14μm

278

-3μm

3μm

6μm

 

結論

MTI雷射傳感器具有非常高的解析度,可以測量遮罩是否平坦。經過此次測試,該客戶也了解到品質控管的重要性,因為它嚴重影響著消費者的滿意度與回購率。

如果您的產品也需要驗證平整度,請致電我們的業務工程師,了解我們的產品如何應用在您的領域中。