美蓓亞集團生產的壓力感測器是在藍寶石(Al2O3單晶)電路板上外延矽薄膜(外延成形技術)而成的一款精密儀器。採用帶有此薄膜的矽半導體應變計,其電阻線與藍寶石電路板原子結合,成為物理性質及電氣性質都極其穩定的理想的感測器。我們所提供高精度、高穩定性壓力感測器,能與各種不同測量目的的測量儀錶相連接,顯示壓力資料、並對其進行記錄和監控,且旗下的壓力感測器已經在H-IIA火箭上有60台/支的實際應用案例。

 

特色

高精度

作為隔膜材料的藍寶石屬於氧化鋁單晶,回應性高,直線性和磁滯特性極其優異。

 

高可靠性

矽半導體應變計和藍寶石電路板之間的接合為原子級別,因此具有極其穩定的特性和高可靠性。負壓側的負載特性與正壓側保持相同水準,因此可測量高精度的複合壓。

 

高耐熱性

SOS技術中的藍寶石電路板本身即為高絕緣體,即使在350℃的高溫環境下也可用作感測器。

 

氫氣適應性

藍寶石的氫氣適應性優異,解決了透射和脆化問題。

美蓓亞的壓力感測器主要用於一般工業領域,擁有精度高、耐環境性和溫度特性優異等優勢,擁有直接與壓力介質和元件接觸(直壓式),另外還有適用于需高回應性的試驗檢測等的壓力計測。可根據客戶不同的用途來選擇尺寸、形狀、規格經度等,常被廣泛用做嵌入設備用的傳感器。

 

.建築機械的液壓管理

.在空間狹窄的管道內進行壓力測量

.空調裝置等的製冷濟壓力監視

.氣體填充容器的品質管理